真空室尺寸　　　mm

Φ800×1100

Φ1250×1500

Φ1600×1750

Φ1600×2250

Φ2600×2100

  多弧靶數(shù)量　　　只

8

14

18

26

26

  極限壓力 　   　Pa

1.5×10^-3

  工作壓力 　   　Pa

1.2×10^-2

  恢復(fù)真空時(shí)間　　min

15（大氣～10^-3Pa）

  工作轉(zhuǎn)動(dòng)　　　  rpm

公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)/二次自轉(zhuǎn)

  工作氣體

Ar 純度99.99%